静压气体轴承研究进展及应用
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1.湖南大学机械与运载工程学院;2.天津航天机电设备研究所;3.北京控制工程研究所

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Research process and application of aerostatic bearings
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    摘要:

    静压气体轴承以外部高压气体作为润滑介质,其运动精度可以达到亚微米甚至纳米量级,是超精密运动功能部件的首要支撑形式。国内外的高校、研究院所和企业对静压气体轴承从基础理论到集成应用等多个层面都展开了详细的研究,并取得了丰富的研究成果。因此,有必要对静压气体轴承进行系统性的总结和评述:综述静压气体轴承的节流方式,并给出相应的理论建模方法;阐述不同静压气体轴承的润滑机理研究,以及对应的性能优化方法和结果;总结静压气体轴承在超精密加工、半导体装备、超精密检测、微低重力模拟等领域的应用;最后对静压气体轴承的发展趋势进行预测和展望。

    Abstract:

    Aerostatic bearings are lubricated by the external high-pressured air. Their kinematic accuracy can be submicron or even nanometer. So, they are preferred for ultra-precision moving components. Researchers have studied the aerostatic bearings detailly including the basic theory and application. Moreover, a lot of achievements have been obtained. So, it is necessary to systematically review the studies about the aerostatic bearings. In this paper, the restricted method is reviewed to present the modeling method. Then, the mechanism study and performance optimization are discussed. Moreover, the broadly applications including the ultra-precision machining, semiconductor equipment, ultra-precision detection, micro low gravity simulation, et al. are summarized. Finally, the development tendency of the aerostatic bearings is predicted and forecasted.

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  • 收稿日期:2024-01-15
  • 最后修改日期:2024-03-27
  • 录用日期:2024-04-02
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